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半導體行業—元器件/密封件密封性檢測解決方案

方案概述

用于電子元器件/密封件檢漏,方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成

方案優勢

性能優越

性能優越

最小可檢漏率低,靈敏度高,檢測量程達到12級
自動清氦

自動清氦

獨特的氣路設計,提高了對氦的抽速,縮短了清氦本底時間,有效防止氦污染
智能化生產

智能化生產

智能故障提示及報警功能
方案構成

方案構成

用于電子元器件/密封件檢漏,方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成

行業應用

華為

華為

中國電子科技集團第三十八研究所

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